一、建筑节能发展趋势

　　

　　目前，各发达国家的LOW-E玻璃都得到了大规模的普及。在德国，LOW-E玻璃的使用率达到92%，韩国为90%，波兰为75%。中国节能玻璃的普及率仅为10%，LOW-E玻璃的普及率则只有8%。因此，未来中国LOW-E玻璃的发展空间非常大，未来几年中国将迎来LOW-E玻璃的加速发展阶段，预计到2012年，公共建筑和住宅LOW-E玻璃使用总量将达到1.48亿平方米。到2020年，全国新增建筑全部达到节能65%的目标。由此可以预计，今后5年将新增节能建筑面积约30亿m2，涉及节能玻璃面积约6亿m2，平均每年新增节能玻璃约1.2亿m2，中空玻璃、LOW-E玻璃的增长率将被拉高。

　　

　　由此可见，低碳、节能已成为全球关注的课题，中国政府已将LOW-E节能门窗列为建筑法规审核的首要项目！

　　

　　二、隆玻镀膜玻璃生产线

　　

　　惠州市隆玻节能玻璃有限公司成立于2009年，是民营建筑玻璃企业巨头龙辉集团全资子公司，公司引进具有国际先进水平的卧式连续溅射镀膜生产线，该镀膜生产线无论从生产工艺、生产原理、主要零部件均达到国际先进水平。

　　

　　（一）、产品技术特点：

　　

　　1、真空腔室的模块化设计和加工。通过此项技术提高了腔室设计和加工效率，提高了重大部件的加工质量和互换性。

　　

　　2、使用高性能旋转阴极和中频电源，最大溅射电流达到400A，大大提高生产效率及膜层性能；

　　

　　3、通过辅助5段供气，提高真空环境工艺气体分布均匀性，提高膜层质量；

　　

　　4、安装整体式模块化阴极屏蔽挡板，大大的提高维护效率和生产效率。

　　

　　5、阴极采用隔离冷却装置，改变以往阴极磁钢因工作在循环水中不断吸附杂质而影响磁场强度和寿命。新方法使磁钢工作在真空环境，大大提高了阴极稳定性和寿命。

　　

　　6、采用倾斜式磁钢矩阵排列，扩大了阴极靶材表面气隙场范围，增大了靶材被刻蚀溅射的面积，提高靶材的利用率和均匀性。表面气隙场水平分量均匀性在±2%以内。

　　

　　7、使用三维空间磁场测量分析系统，系统用于测量磁钢阵列的空间气隙场分布及磁钢安装、调整，为阴极研发提供有效的技术手段。

　　

　　（二）、设备基本配置

　　

　　1、采用先进的德国莱宝抽气泵和日本岛津分子泵配置，杜绝真空室返油污染，运行可靠、高效；

　　

　　2、采用泵位阴极隔仓结构。泵组、阴极位独立布置，气体隔离效果好。腔室之间布置锁阀装置便于真空集成和单腔室维护；

　　

　　3、采用“水平下沉式盖板标准化设计”，阴极位可以互换，提供专用换靶小车，换靶及维修清理工作更加方便、快捷；

　　

　　4、分别配置6套大功率旋转阴极和7套平面阴极，可生产双银Low-E和普通Low-E玻璃，兼容各种阳光控制膜产品；

　　

　　5、配置多点位膜系自动检测监控系统，确保镀膜质量和产品延续性；

　　

　　6、提供独立分配的Ar、O2、N2工艺气体，采用5段供气补偿和进口质量流量计，保证膜层多样化和膜厚均匀；

　　

　　7、配置全进口德国本特乐镀膜玻璃清洗机，该清洗机可抛除玻璃表面老化层，保证玻璃表面洁净，有利形成致密膜层。

　　

　　（三）、设备主要参数和性能指标：

　　

　　1、背景真空：5×10-6mbar；

　　

　　2、生产节拍：90s；

　　

　　3、厚度范围：3mm~19mm；

　　

　　4、最大加工尺寸：2540mm×3660mm；

　　

　　5、横向均匀性：ΔE＜